福乐伯努利卡盘是日本FLUORO（福乐）品牌的非接触式晶圆搬运专用设备，核心信息如下：

一、核心产品系列

该卡盘分为三大主流系列，适配不同尺寸和厚度的晶圆：

1. BC-K系列：兼容2英寸至12英寸常规晶圆，使用角度可在20°、45°、90°三个档位中选择，导向塞采用柔和锥度设计，仅单点接触晶圆边缘，避免划伤工件。

2. BC-K-300系列：适配300微米及以下厚度的薄晶圆，6英寸款型号为BC-K6-300，8英寸款为BC-K8-300，12英寸款为BC-K12-300，可处理50μm超薄难搬运的晶圆。

3. BC-P-300系列：适配300微米以下的神族载体场景，使用角度支持45°、90°，6英寸款型号为BC-P6-300，8英寸款为BC-P8-300，12英寸款为BC-P12-300。

二、核心性能特点

●依靠伯努利效应实现非接触式吸附，全程不直接接触晶圆表面，完全避免工件划伤、静电损伤，适配洁净室严苛使用环境。

●主体采用导电尼龙树脂材质，导环为防静电聚碳酸酯，整体轻量化设计，双面印刷标识，可直观确认抽吸状态。

●支持定制服务，可适配方形等特殊形状的平面工件，满足非标准搬运需求。

三、使用注意事项

出于高压使用安全考虑，建议将操作按钮朝下安装使用；设备运行需配套9升及以上水箱容量的调节器和压缩机，该配套设备品牌不随卡盘一同售卖。

特长

于柄使用角度可从20度、45度、90度三档中选择主体部分:

(使用角度为固定角度，若不更换主体部分则无法更改使用角度)导轨止动器具有缓和的锥度，因此可点接触晶回边缘。
采用防静电聚碳酸酯的导环，可目视定位并确认吸力状态。通过采用本体部导电性尼龙树脂，实现了轻量化。
双面均设有图案印刷，可应对厚度为50um且难以操作的晶圆。
也可适配角形等特定对象的定制设计产品。开关可以选择按钮或杠杆。