Fluoro福乐（FluoroMechanic）是源自日本东京的半导体行业知名晶圆处理工具制造商，专注于无尘环境下硅晶园、化合物衬底的精密搬运与真空控制设备研发制造，产品广泛适配Class 10~Class 1000级洁净车间，以防静电、

高洁净度和模块化设计为核心优势。

核心产品线

●真空吸笔系列：分为C系列干态防静电款、F系列耐化学湿法款，负压范围0~80kPa，可适配0.1g~500g工件，覆盖2~12英寸硅片、SiC/GaN衬底等场景，支持常开、常关、自锁多种阀体逻辑，万向接头可360°调节适配探针台、显微镜工位。

●手动晶圆镊子：M系列本色PEEK洁净款、E系列导电PEEK防静电款，采用杠杆棘轮锁止结构，仅夹持晶圆外缘不触碰正面图形，无需真空泵/气源配套，适配4~12英寸晶圆的干法应急转运，连续耐温可达130°C。

●FV系列无油真空泵：全系列内置双向HEPA过滤器(0.3μm颗粒过滤效率99.97%)，极限负压覆盖-50kPa~-90kPa，其中FV-60是无尘室高频爆款，可驱动1~2支吸笔适配6~8英寸晶圆，FV-W双向机型支持吸附+正压吹气，适配超薄晶圆剥离场景。

●伯努利卡盘：依托伯努利原理实现晶圆全程非接触悬浮搬运，可处理薄至50μm的超薄晶圆，手柄支持20°/45°/90°三档角度选择，仅边缘导向块点接触晶圆，彻底避免表面划伤。

●配套周边：包含导电PEEK吸嘴、防静电真空软管、吸笔支架、901便携式真空测漏仪等，可组成完整的无尘真空搬运与点检系统。

核心技术优势

●全链路防静电设计：笔身、吸嘴、管线均采用导电材质，表面电阻率稳定在10~10Ω，完整泄放静电，杜绝芯片静电击穿风险。

●高洁净低发尘：阀体内部精密抛光，无金属外露、无胶水析出，完全满足百级无尘车间使用标准，避免晶圆表面颗粒污染。

●模块化易维护：吸嘴等耗材可单独更换，无需整体替换笔体，大幅降低长期使用成本，整机轻量化设计(23~77g)，长时问手持作业不易疲劳。

4~12英寸全尺寸晶圆，按手动转运、真空吸附、非接触搬运三类场景精准匹配，直接对应产线实际工况选型：

4英寸晶圆

●机械镊子：M100-100(直压款)、M100-100L(带锁止款)、E100-100(防静电款)

●真空吸笔：C001系列搭配对应小尺寸吸嘴，适配实验室小尺寸衬底取样

●真空泵：FV-10小流量静音款，完全满足单支吸笔负压需求

5英寸晶圆

●机械镊子：M100-125、M100-125L、E100-125L防静电款

●真空吸笔：C001-Y-90-CP固定式接头款，专为5寸晶圆设计，作业受力稳定

●真空泵：FV-20，低噪音适配千级无尘车间

6英寸晶圆

●机械镊子：M100-150、M100-150L、E100-150防静电款

●真空吸笔：C001-Y-91-CP(固定款)、C001-X-96-CP（万向旋转款)，适配显微镜下对位操作

●伯努利卡盘：BC-K6、BC-P6，实现全程非接触搬运

●真空泵：FV-30，是6寸晶圆产线最通用的主力动力款

8英寸晶圆

●机械镊子：M100-200、M100-200L、E100-200防静电款

●真空吸笔：C001-Y-97-CP固定款，F001-Z-05-VP耐化学腐蚀款适配湿法场景

●伯努利卡盘：BC-K8、BC-P8

●真空泵：FV-40，可稳定驱动1~2支吸笔同时作业

12英寸晶圆

●机械镊子：M100-300、M100-300L、E100-300L加长防静电款，自重78g适配大尺寸晶圆

●真空吸笔：C003系列大负载款，适配整片12寸晶圆自重

●伯努利卡盘：BC-K12、BC-P12、BC-K-300超薄晶圆专用款，可处理薄至50μm翘曲晶圆

●真空泵：FV-60高负压款，极限负压-85kPa，完全覆盖12寸晶圆搬运的吸附余量需求，避免倾斜作业时晶圆脱落