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半导体晶圆处理设计的精密夹持工具

添加时间:2026-09-07 点击次数:43 次

FLUORO福乐晶圆夹镊子是日本FLUORO品牌专为半导体晶圆处理设计的精密夹持工具,主打无损伤、低污染、防静电特性,适配4-12英寸各类硅晶圆的手工转移作业。

核心产品特性

●晶圆夹持仅为两点接触,大幅降低晶圆表面污染风险,完全避免传统金属镊子划伤晶圆的问题

●搭载独特晶圆限位结构,防止镊子与晶圆产生多余接触,主体无胶水、无金属外露,长期使用可保持洁净

●采用杠杆原理设计,小力度即可输出稳定夹紧力,部分自锁型号锁定后无需持续施力,操作更省力

●可选PEEK、PPS等多种材质,其中PEEK款可在130°C高温下连续使用,耐化学腐蚀性能优异

●全系列通过防静电设计,电阻值稳定在10-10Q区间,适配半导体无尘车问静电敏感器件作业要求

适用场景

广泛用于半导体产线5/6/8/12英寸硅晶圆手工转移、取样检测,也可兼容光学镜片、薄脆精密元件的无损取放,部分耐腐型号可直接用于湿法工艺后的晶圆手工取样作业。

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选型优先级建议

1.常规无尘车问静电敏感晶圆作业,优先选C系列防静电真空镊子,兼顾防静电和无痕抓取

2.涉及酸碱湿法工艺后的晶圆取样,直接选F系列耐腐真空镊子,避免腐蚀损坏工具和晶园

3.6英寸及以上大尺寸晶圆批量转移,优先选 杠杆锁系列晶圆夹,长时问操作不易疲劳,夹持更稳定

4.4-5英寸小尺寸晶圆日常实验室检测转移,选常规手动晶圆夹 即可满足需求,性价比最高

产品系列适配晶圆尺寸核心材质适配工况场景核心优势
C系列防静电真空镊子5/6/8/12英寸导电尼龙+导电PEEK半导体无尘室常规静电敏感作业电阻稳定在10⁶-10⁸Ω,完全避免静电损伤晶圆
F系列耐腐真空镊子全尺寸晶圆/微小元件PTFE/PCTFE/PFA湿法工艺、酸碱腐蚀环境下作业全氟树脂材质耐强酸碱,适配化学品后取样场景
手动常规晶圆夹4/5/6/8英寸PPS/普通PEEK常规实验室、普通产线日常转移性价比高,两点夹持低污染,操作简单
杠杆锁晶圆夹6/8/12英寸纳米碳导电PEEK大尺寸晶圆长时间转移、批量取样杠杆自锁设计,小力输出稳定夹持力,操作省力