FLUORO福乐晶圆夹镊子是日本FLUORO品牌专为半导体晶圆处理设计的精密夹持工具,主打无损伤、低污染、防静电特性,适配4-12英寸各类硅晶圆的手工转移作业。
核心产品特性
●晶圆夹持仅为两点接触,大幅降低晶圆表面污染风险,完全避免传统金属镊子划伤晶圆的问题
●搭载独特晶圆限位结构,防止镊子与晶圆产生多余接触,主体无胶水、无金属外露,长期使用可保持洁净
●采用杠杆原理设计,小力度即可输出稳定夹紧力,部分自锁型号锁定后无需持续施力,操作更省力
●可选PEEK、PPS等多种材质,其中PEEK款可在130°C高温下连续使用,耐化学腐蚀性能优异
●全系列通过防静电设计,电阻值稳定在10-10Q区间,适配半导体无尘车问静电敏感器件作业要求
适用场景
广泛用于半导体产线5/6/8/12英寸硅晶圆手工转移、取样检测,也可兼容光学镜片、薄脆精密元件的无损取放,部分耐腐型号可直接用于湿法工艺后的晶圆手工取样作业。

选型优先级建议
1.常规无尘车问静电敏感晶圆作业,优先选C系列防静电真空镊子,兼顾防静电和无痕抓取
2.涉及酸碱湿法工艺后的晶圆取样,直接选F系列耐腐真空镊子,避免腐蚀损坏工具和晶园
3.6英寸及以上大尺寸晶圆批量转移,优先选 杠杆锁系列晶圆夹,长时问操作不易疲劳,夹持更稳定
4.4-5英寸小尺寸晶圆日常实验室检测转移,选常规手动晶圆夹 即可满足需求,性价比最高