关于日本FLUORO福乐真空泵技术与特点

一、产品系列与技术特点

1.半导体专用系列

●提供抗静电真空吸笔（如90-C导电型号)，适用于5英寸晶圆处理，配备ESD安全设计。

●防酸系列（F002-X-02-PK）采用铁弗龙材质笔身，耐腐蚀且重量仅32g，适用于半导体晶圆操作。

2. 真空泵型号

●FV-10C002-D-Y-161型号真空泵，输出压力稳定在-0.1MPa，需配合专用真空镊子使用。

二、关键参数与配置

1. 性能参数

●真空度：-0.095MPa(校准后误差≤±1.5%FS)。

●吸附力：12英寸晶圆处理工具需≥1.2kgf 。

2. 配件兼容性

●支持球状旋转接头（233mm长度）和PEEK材质吸笔头，可单独更换。

三、注意事项

●防酸型号使用后需立即干燥，防止铁弗龙材质腐蚀。

●校准真空泵时需确保环境温湿度稳定（20+2°C，湿度≤40%RH）。

以下是校准日本FLUORO福乐真空泵的标准化操作流程及注意事项：

1.设备连接

●将校准仪输出口与FV-10C002-D-Y-161型号真空泵连接，使用专用气压软管确保密封性。

●导电型号需同步连接24V电源线及电流检测线（红黑线分别接正负极）。

2. 环境要求

●校准需在无尘环境中进行，避免微粒影响压力传感器精度。

二、校准操作步骤

1.初始状态验证

●启动校准仪电源，确认真空泵在零压状态下电流值为4mA（标准信号基准）。

2.压力调节

●关闭泄压阀后，通过微调阀逐步加压至目标值（如-0.095MPa），观察校准仪实时读数。

●负压校准需切换至负压模式，使用打压杆抽真空至检定点后微调。

3. 多节点测试

●按规程要求测试多个检定点(如-0.03MPa、-0.06MPa)，记录各点电流值。

三、结果判定与维护

1. 误差标准

●示值误差需≤±1.5%FS，回程误差≤允许基本误差绝对值。

2. 泄压操作

●完成测试后缓慢打开泄压阀至零压，避免压力突变损坏设备。

四、注意事项

●禁止带压切换阀门，防止密封件损坏。

●防腐蚀型号（如铁弗龙材质）校准后需立即干燥处理。